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碳化硅研磨抛光流程-合美半导体（北京）有限公司
2024年12月26日 研磨液：粗磨阶段可使用含有较大颗粒金刚石或碳化硅微粉（5 - 15μm）的油性或水性研磨液，增强切削能力；精磨与抛光阶段采用 1μm 及以下的超细微粉（如胶体二氧化 2022年10月28日 碳化硅单晶衬底抛光液 经传统研磨工艺，使用微小粒径的金刚石或碳化硼研磨液，对SiC晶片进行机械抛光加工后，晶片表面的平面度大幅改善，但加工表面存在很多划 碳化硅单晶衬底切、磨、抛材料整体解决方案_发展_加工_的表面
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碳化硅晶圆进入8英寸时代！研磨抛光环节该如何破
2024年8月8日 为提高碳化硅晶圆的研磨效率，利用团聚金刚石研磨工艺逐渐被众多厂家采用。团聚金刚石磨粒是由微小的金刚石颗粒通过粘结剂聚合在一起形成的团聚体，在研磨过程中，钝化的磨料会从团聚磨料上破碎脱落，同时新的磨料 2023年11月18日 金刚石研磨液主要由金刚石微粉、分散剂、悬浮剂以及润滑剂等组成。 其中，金刚石微粉作为主要的磨料，对碳化硅衬底进行物理磨削。 分散剂和悬浮剂确保研磨液内的金刚石粒子能均匀分散，防止团聚。SiC衬底磨抛新工艺：突破成本壁垒，开启高效制造
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一种面型质量均匀的碳化硅研磨片及加工方法与流程
2024年6月19日 本技术涉及一种面型质量均匀的碳化硅研磨片及加工方法，属于半导体制备。 背景技术： 1、作为半导体产业中的衬底材料，碳化硅单晶具有优异的热、电性能，在高温、高频、大功率、抗辐射集成电子器件领域有着广泛的 2024年12月27日 由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如 碳化硼 或金刚石粉）研磨SiC切片的晶体表面。 该工艺可以有效的去除线割产生的损伤层，修复面型，降 碳化硅衬底的主要加工工艺 - 知乎
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绿碳化硅磨料作为大理石研磨砂研磨粉的特点有哪些？ - 行业 ...
2025年2月12日 绿碳化硅磨料凭借其优异的硬度、锋利度和导热性能，成为大理石高效、高质研磨的理想选择，尤其适用于对表面光洁度要求较高的装饰石材加工。 绿碳化硅磨料不仅可以 2020年12月3日 绿碳化硅是以石油焦和优良硅石为主要原料，添加食盐作为添加剂，通过电阻炉高温冶炼而成，经冶炼成的结晶体纯度高，硬度大，其硬度介于刚玉和金刚石之间，机械强度 碳化硅研磨粉-淄博道新新材料科技有限公司
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一种面型质量均匀的碳化硅研磨片及加工方法与流程
2024年6月19日 19、优选的，所述金刚石粉的粒径为2-5μm。20、上述研磨液能够对研磨片进行快速研磨，并提高金刚石粉的悬浮性能，金刚石粉的量过小则研磨速率过低，金刚石粉的量过大，则晶片表面划痕数量过多；金刚石粉的粒径过 深圳中机新材料有限公司位于广东 深圳 南山区类球型团聚金刚石研磨粉,爆轰多晶金刚石研磨粉,金刚钻石研磨液,氧化铝抛光液,氧化硅抛光液,氮化硼微粉,金刚钻石减薄垫,树脂金刚砂轮,团聚碳 深圳中机新材料有限公司-广东深圳南山区
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什么是SIC碳化硅衬底的常规双面磨工艺
2024年3月7日 碳化硅SIC研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层，修复切割产生的变形。由于SiC的高硬度的特性，CMP研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或金刚石粉）研磨SiC切片的晶体表面。 2023年11月18日 金刚石，以其出色的硬度和耐磨性而著称，在研磨抛光领域中具有不可或缺的地位。金刚石研磨液主要由金刚石微粉 、分散剂、悬浮剂以及润滑剂等组成。其中，金刚石微粉作为主要的磨料，对碳化硅衬底进行物理磨削。 SiC衬底磨抛新工艺：突破成本壁垒，开启高效制造
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碳化硅单晶衬底切、磨、抛材料整体解决方案_发展_加工_的表面
2022年10月28日 碳化硅单晶衬底研磨液 研磨的目的是去除切割过程中造成的SiC切片表面的刀痕以及表面损伤层。由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或金刚石 2024年12月24日 碳化硅用金刚石微粉 碳化硅用金刚石微粉一般搭配 砂浆切割技术 使用 该工艺以钢线为基体，莫氏硬度 为 10 的金刚石（C）作为切割刃料，钢线在高速运动过程中带动切割 碳化硅用金刚石微粉及工艺 - 知乎
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单多晶纳米金刚石微粉陶瓷硬质合金钨钢碳化硅钻石
阿里巴巴单多晶纳米金刚石微粉陶瓷硬质合金钨钢碳化硅钻石镜面研磨抛光粉，研磨膏，这里云集了众多的供应商，采购商，制造商。这是单多晶纳米金刚石微粉陶瓷硬质合金钨钢碳化硅钻石镜面研磨抛光粉的详细页面。品牌:精铸，型号:金 2023年8月24日 绿碳化硅微粉研磨效率高，脆性高，适合生产各种碳化硅磨具和精细研磨。 绿碳化硅的性能特点： 颗粒表面无杂质吸附，清洁度高。 研磨能力强，适合硬脆材料的研磨，锋 绿碳化硅3000#微粉 - 磨具用绿碳化硅-郑州市海旭磨料有限公司
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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 百家号
2023年4月28日 研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层，修复切割产生的变形。由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或金刚石 金刚石研磨膏型号及其规格在线下载,格式:docx,文档页数:1 常用研磨膏有：刚玉类研磨膏——主要用于钢铁件研磨；碳化硅——碳化硼类研磨膏，主要用于硬质合金、玻璃、陶瓷和半导体等研磨；氧化铬类研磨膏——主要用于精细抛光或非金 金刚石研磨膏型号及其规格 - 文档之家
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