以更平、更薄、更可靠为技术导向,专注深耕半导体衬底材料、晶圆制造、半导体器件、先进封装、MEMS等领域的超精密平面加工技术,以领先的半导体平面技术,成就客户核“芯”竞争力,带给产业无限可能。 北京特思迪半导体设备有限公 碳化硅(SiC),是一种具有显著物理和化学特性的无机非金属材料,以其高硬度、抗腐蚀能力、耐高温性能和良好的化学稳定性而著称。 这些特性使其在 汽车、航空航天、电力电子、通信、军事和医疗设备 等关键领域中发挥着重要作 「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决 ...
了解更多在碳化硅(SiC)晶片的制备中,抛光是一个至关重要的环节。它旨在消除研磨过程中产生的表面不规则性和微观损伤,确保晶片表面的光滑度和整体质量。2024年12月26日 碳化硅样品:确保待加工的碳化硅材料表面无明显杂质、油污等污染物,可预先使用适当的清洗剂进行简单清洗并晾干。 研磨设备:选用高精度平面研磨机或适合的研磨抛 碳化硅研磨抛光流程-合美半导体(北京)有限公司
了解更多GNX200BH是一台可研磨超硬材料的全自动减薄设备,采用大功率主轴和高刚性铸件,可以大幅缩小加工公差。 GNX200BH在应对SiC碳化硅晶圆、GaN氮化镓晶圆等新型坚硬材料为原材料的晶圆减薄/研磨/研削时表现优秀。 OKAMOTO 精密研磨机设备如何磨碳化硅工件. 磨碳化硅工件的过程需要一定的专业知识和技能,以下是一般的步骤和注意事项: 选择合适的磨石和磨料: 对于碳化硅这样的硬质材料,通常使用金刚石 精密研磨机设备如何磨碳化硅工件? - 知乎
了解更多碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。 炼得的碳化硅块,经破碎、酸碱洗、磁选和筛分或水选而制成各种粒度的产品。该研磨机系统是全自动向下进给式研磨机。 设备用于半导体材料诸如:硅、陶瓷、石英等硬质材料的晶圆研磨。 GNX200B 兼容加工4”、5”、6”、8”晶圆,不需要更换夹具碳化硅晶圆减薄机(SiC)立式研磨机 - 知乎
了解更多2020年8月16日 目前对碳化硅晶片的加工一般采用莫氏硬度更大、速率更快的金刚石研磨液进行研磨来达到一定的厚度,最后用传统的CMP抛光液精抛到要求的表面状态。 然而,目前的碳化硅衬底加工工序单面加工时间冗长而且工序繁
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